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光刻膠領(lǐng)域,我國(guó)取得新突破

字號(hào)+作者:執(zhí)鞭隨鐙網(wǎng)來(lái)源:知識(shí)2025-12-01 18:44:47我要評(píng)論(0)

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  每經(jīng)AI快訊,域國(guó)光刻技術(shù)是新突推動(dòng)集成電路芯片制程工藝持續(xù)微縮的核心驅(qū)動(dòng)力之一。近日,光刻北京大學(xué)化學(xué)與分子工程學(xué)院彭海琳教授團(tuán)隊(duì)及合作者通過(guò)冷凍電子斷層掃描技術(shù),膠領(lǐng)首次在原位狀態(tài)下解析了光刻膠分子在液相環(huán)境中的域國(guó)微觀三維結(jié)構(gòu)、界面分布與纏結(jié)行為,新突指導(dǎo)開發(fā)出可顯著減少光刻缺陷的光刻產(chǎn)業(yè)化方案。相關(guān)論文近日刊發(fā)于《自然·通訊》。膠領(lǐng)

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